酸化拡散装置 | 神奈川県産業技術センター
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更新日:2015.08.20

酸化拡散装置

お客様ご自身が使用して、試作・分析を行える機器は 『利用の仕方』欄にご利用OKがつけてあります。

酸化拡散装置、熱酸化、不純物拡散、酸化拡散炉

 

 
項目 内容
機器名 酸化拡散装置
利用の仕方 ご利用OK
使用料No 6740
分類 生産加工機器
担当 電子技術部
仕様 抵抗加熱式横型/温度範囲400~1200℃/ウエハサイズ4インチ以下(推奨は3インチまで)/ドライ酸化、ウエット酸化
用途 酸素や水蒸気を利用し、Si(シリコン)ウェハへ熱酸化により、酸化膜の形成を行います。また、Siウエハの不純物拡散を行います。
手数料No
/試験名
1120/酸化拡散試験
製造社名 KHエレクトロニクス(株)
規格 特別仕様
導入年度 平成01年度

  • 「使用料」とはご利用OKのついた機器をご使用いただいたときの料金です。ご利用OKのある機器でも、使用条件によって料金が変わる場合は空欄となっています。そのような機器の使用料は、お問い合わせ下さい。
  • 「手数料」とは当センター職員がお客様のご依頼を受けて試験等を実施する場合の料金です。この他にオーダーメードでもお受けできます。
  • 「試験名」とは当機器を利用して行う試験等の名称で、クリックすると詳細説明がご覧になれます。




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