アッシャー装置 | 神奈川県産業技術センター
ホーム
ページ全体のサイズ
logo
更新日:2015.08.20

アッシャー装置

お客様ご自身が使用して、試作・分析を行える機器は 『利用の仕方』欄にご利用OKがつけてあります。

アッシャー装置、アッシング、プラズマ処理

 

 
項目 内容
機器名 アッシャー装置
利用の仕方 ご利用OK
使用料No 6880/アッシャー装置
分類 生産加工機器
担当 電子技術部
仕様 振周波数13.56MHz/発振最大出力500W(オートチューニング)/酸素またはCF4導入可能/
最大基板サイズ:4インチ、治具を用意いただければ多数枚処理可能です。
用途 半導体製造プロセス装置/レジストの灰化/表面処理
手数料No
/試験名
1180/アッシャーによるプラズマ処理
製造社名 東京応化工業(株)
規格 OPM-EM600
導入年度 平成04年度

  • 「使用料」とはご利用OKのついた機器をご使用いただいたときの料金です。ご利用OKのある機器でも、使用条件によって料金が変わる場合は空欄となっています。そのような機器の使用料は、お問い合わせ下さい。
  • 「手数料」とは当センター職員がお客様のご依頼を受けて試験等を実施する場合の料金です。この他にオーダーメードでもお受けできます。
  • 「試験名」とは当機器を利用して行う試験等の名称で、クリックすると詳細説明がご覧になれます。




みなさまのご意見をお聞かせください

  • このページの情報は役に立ちましたか
  •  役に立った    普通   役に立たなかった

  • このページの内容はわかりやすかったですか
  •  分かりやすい   普通   分かりにくい

  • このページの情報は見つけやすかったですか
  •  見つけやすかった 普通   見つけにくかった